半导体检测、真空显微镜、光学计量设备的真空腔体内，精密定位选型一直是一大难题。传统电磁直线电机自带磁场，容易干扰光学与电子检测；普通压电陶瓷堆叠行程受限，很难兼顾长行程与纳米级定位。面对真空、无磁、高分辨率的多重约束，Nanomotion HR 系列超声波压电陶瓷纳米电机，成为真空精密运动的优选方案。
HR系列电机是高精度陶瓷电机。HR电机在紧凑的尺寸下，将无限行程与高位置分辨率结合在一起。电机广泛应用于显微镜、精密运动、机器人等领域。HR电机还有适用于真空和超高真空工作环境的版本。这些应用包括晶圆检查和计量、扫描平台和光刻。当与Nanomotion AB05驱动器配合使用时，电机对输入电压的响应是线性的。电机和驱动器的工作方式类似于由电压放大器驱动的直流电机。
HR 电机：标准电机配有 3 米屏蔽护套电缆 ，真空电机配有 3 米屏蔽电缆 ，超高真空电机配有 0.5 米飞线（3 根线） ，陶瓷驱动条：适用于线性应用，驱动环/盘：适用于旋转应用，驱动器：AB01、AB02、AB04 驱动器带控制器，伺服频率 > 8KHz。
HR 系列电机从单元电机（提供 0.4kg 力）到八单元电机（提供 3.2kg 力）都有。HR系列能够驱动线性和旋转平台。HR 系列电机的速度动态范围很广，从1μ/秒到 250mm/秒，并且可以轻松安装到传统低摩擦平台或其他装置上。步进分辨率可达10纳米，无内部磁场无外部磁场敏感性（非磁性版本） 提供真空版HR系列。电机独特的运行特性提供了固有的制动能力，并且在静止位置时能够消除伺服抖动。
结构紧凑也是 HR 系列的一大优势，以 HR8 为例，整机尺寸仅 41.9×46.6×23.8mm，体积小巧，便于在狭小真空腔内部署多轴运动模组。电机内部无滚动齿轮等易磨损运动部件，减少真空环境下微粒产生，兼容洁净室 ISO3 级洁净要求，长时间连续运行稳定可靠，实测在高真空环境下完成数十万次往复运动，位置误差保持稳定。
HR 系列既可用于线性位移台，也可驱动旋转台，广泛应用于半导体晶圆检测、扫描探针显微镜、生物显微、光学计量、航天真空模拟等高端设备。
