雷尼绍激光干涉仪

雷尼绍公司的激光干涉仪和球杆仪测量系统用于评估、监控并提高机床、坐标测量机 (CMM) 及其他位置精度要求关键的运动系统的静态和动态性能。激光干涉仪采用安装在外部的光学镜组件实现高精度、可重复、可溯源的测量...

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◆产品介绍


       雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有近二十年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶,具有真正领先的系统性能和操作优点。


RENISHAW激光干涉仪

       雷尼绍公司的激光干涉仪和球杆仪测量系统用于评估、监控并提高机床、坐标测量机 (CMM) 及其他位置精度要求关键的运动系统的静态和动态性能。激光干涉仪采用安装在外部的光学镜组件实现高精度、可重复、可溯源的测量。目前有两款雷尼绍激光干涉仪系统在全球广泛使用,一款是XL-80(自2007年开始生产),另一款是被其替代的ML10(1988年至2007年)。


便携性和易用性

       XL-80激光干涉仪和XC-80补偿器体积小巧,这意味着一套完整的线性测量系统只需装在一个“便携箱”中,重量仅为12公斤。再加上一个三脚架(装在尼龙拉链携带箱中),您就拥有了一个真正便携的机器测量方案。激光干涉仪和补偿器均可通过USB与计算机连接,因此无需单独的接口,也不必担心复杂的设定。XL-80系统便携箱和三脚架


精度和动态性能

       精确稳定的激光源和准确的环境补偿,保证了±0.5 ppm的线性测量精度。可以高达50 kHZ频率读取数据,最高线性测量速度可达4 m/s,即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项(不只是线性)均采用干涉法测量,使您对记录数据的精度有信心。


使用方便

       XL-80设定和使用快速简便,可减少等待时间并增加测量时间,同时仍具有纯粹干涉测量系统精度高的优点。


工作中的XL-80

       全面信心,优质的设计、制造和技术支持是雷尼绍的标志性特征。不管是微米级测量还是纳米级测量,最先进的设施和质量保证都极为重要。标准的三年保修期和全球支持网络体现了我们对您的承诺。


XL-80激光装置   

        XL-80激光头可以产生非常稳定的激光光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准。

        激光稳频精度 通过动态热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内,达到1年内精度为±0.05 ppm,1小时内精度为±0.02 ppm。线性测量精度 在整个环境范围内,即从0 oC - 40 oC(32 oF - 104 oF)和650毫巴 - 1150毫巴的范围内,精度为±0.5 ppm。可以高达50 kHZ频率读取数据,最高线性测量速度可达4 m/s,即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm。仪器内置的USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。激光头前部的一排LED状态指示灯显示激光状态和信号强度,相当于将屏幕软件上的“状态显示”扩展到激光头上。可以在标准 (40 m) 和长 (80 m) 距离模式之间切换,模拟I/O端口允许模拟信号输出和触发信号输入。预热时间少于6分钟。外接开关电源允许输入电压在90V - 264 V之间变化。上述所有特点使得XL-80的使用快捷方便。二类激光安全标签根据 (IEC) EN60825-1,雷尼绍XL-80激光干涉仪属二类激光装置,因而不需要佩戴护目镜。在首次操作本系统之前,请务必参阅系统手册,详细了解安全信息。


XC-80补偿器和传感器

       XC-80补偿器XC-80补偿器是XL系统线性测量精度的一个关键要素。补偿器配备有“智能型传感器”来处理原始环境参数,可非常准确地测量空气温度、气压和相对湿度。这些条件的改变可能会影响激光波长和测量读数。XC-80使用传感器读数来修正激光波长的标称值,以给出在之后的计算中使用的真值,消除了由这些变化造成的任何测量误差。如果您注重精度,则需要进行有效的波长补偿。


◆产品特点


XC-80的主要特性包括:

       均匀补偿 — XC-80和传感器的设计确保在整个环境操作条件范围内读数均匀并非常精确。传感器更新迅速 — 如XC-80装置上的LED状态指示灯所示,每7秒自动完成一次更新。集成的USB — 集成的USB连接意味着无需使用单独的计算机接口和单独电源(USB同时为XC-80和传感器供电)。轻便 — XC-80仅重550 g,连同XL-80也仅重3 kg多一点(包括连接电缆、XL电源和传感器)。智能气温和材料温度传感器 — 内置微处理器分析并处理传感器的输出,再将温度数值传输给XC-80补偿器。这使测量更安全,也是XC-80如此轻便小巧的关键原因,同时还确保传感器可完全互换并且不会影响精度。也可以将最多三个材料温度传感器连接在XC-80补偿器上,将线性测量值归一化为材料温度为20 °C的标准值。多用途传感器电缆 — 标准5 m长的传感器电缆可以拆卸,更换方便,在较长机器上测量时,可用螺纹接头将多条电缆连接在一起来加长。


注: 使用雷尼绍系统时,角度或直线度测量不需要环境补偿,因为这些测量值是通过彼此靠近的两个光束路径的差计算得出的,其中环境因子本身被抵消。由于回转轴、平面度和垂直度测量也以这些测量为基础,因此也不需要进行环境补偿。三脚架和云台除非您使用的是专用测量台,否则很可能需要一个安装云台(多数情况下还需要三脚架)来调整激光头相对于所需测量轴的位置。云台上的XL-80XL安装云台在设计上考虑到了XL-80的精确角度旋转及平移,可以一直固定在激光头上,易于存放和快速架设。"快速安装/释放"机构可确保云台快速安全地固定到三脚架上。 对于那些不方便安装三脚架的应用场合,例如直接固定在机床工作台上,则云台和激光头也可用M8螺纹的转接头固定在标准磁力表座上。新型通用三脚架已经过广泛的测试,具有稳定的可调基座,而且结构小巧、轻便。




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